题目内容 (请给出正确答案) [多选题] MEMS分类的描述中,正确的是()。 A.特征尺寸通常是指集成电路中半导体器件的最大尺寸B.特征尺寸在1mm-l0mm的为小型机械C.特征尺寸在1um-1mm的为微型机构D.特征尺寸在1nm-1um的为纳米机械 答案 查看答案